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技術(shù)文章
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    半導(dǎo)體工廠(chǎng)氣體檢測(cè)儀
    型　號(hào)：PS-2CKⅢ
    品　牌：日本新宇宙
    技術(shù)指標(biāo)：檢測(cè) TEOS等烷氧基系列氣
    陽(yáng)泉半導(dǎo)體工廠(chǎng)氣體檢測(cè)儀-PS-2CKⅢ-日本新宇宙
    型號(hào) PS-2CKⅢ
    檢測(cè)原理 熱分解離子化式
    檢測(cè)氣體對(duì)象 TEOS等烷氧基系列氣體
    指示范圍 按照另外規(guī)格
    傳感器供給電源 由各指示計(jì)組件供給
    泵電源 AC100V±10%
    可延長(zhǎng)距離 1km（使用2mm2線(xiàn)）
    檢測(cè)方式 泵吸引式
    防爆結(jié)構(gòu) 非防爆結(jié)構(gòu)
    使用溫度范圍 0℃～40℃
    使用電纜線(xiàn) 2芯+2芯屏蔽電纜線(xiàn)
    重量 約9.3kg

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